»ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÆÄ¿îµå¸® ÁÖ °í°´ Ä÷ÄÄ°úÀÇ Çù·ÂÀ» À̾°¡°í ÀÖ´Ù. ÆÄ¿îµå¸®´Â ÆÕ¸®½º·Î ºÒ¸®´Â ¼³°è Àü¹®¾÷ü°¡ »óÇ°À» ÁÖ¹®ÇÏ¸é¼ ³Ñ°ÜÁØ ¼³°è µµ¸é´ë·Î ¿þÀÌÆÛ(½Ç¸®ÄܱâÆÇ)¸¦ °¡°øÇØ ¹ÝµµÃ¼ ĨÀ» »ý»êÇÏ´Â »ç¾÷À» ¸»ÇÑ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â 18ÀÏ 10³ª³ë(nm¡¤³ª³ë¹ÌÅÍ) 2¼¼´ë °øÁ¤À» ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÑ ¡®8³ª³ë ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤¡¯ °³¹ßÀ» ¿Ï·áÇØ º»°ÝÀûÀÎ ¾ç»ê Áغñ¸¦ ¸¶ÃÆ´Ù°í ¹àÇû´Ù. ¡®8³ª³ë ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤(8LPP, Low Power Plus)¡¯Àº »ï¼ºÀüÀÚÀÇ Ã·´Ü ÆÄ¿îµå¸® ·Îµå¸Ê»ó EUV(Extreme Ultra Violet, ±ØÀڿܼ±)°¡ óÀ½À¸·Î µµÀ﵃ 7³ª³ëÀÇ Á÷Àü °øÁ¤ÀÌ´Ù.
¡®10³ª³ë 2¼¼´ë °øÁ¤¡¯ ´ëºñ Àü·ÂÈ¿À²ÀÌ 10% Çâ»óµÇ°í ¸éÀûÀº 10% Ãà¼ÒµÅ ¸ð¹ÙÀÏ¡¤³×Æ®¿öÅ©¡¤¼¹ö¡¤°¡»óÈÆó ä±¼ µî¿¡ ÇÊ¿äÇÑ °í¼º´É ÇÁ·Î¼¼¼¿¡ ÀûÇÕÇÏ´Ù. ¾Õ¼ »ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ÇØ 10¿ù ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î 10³ª³ë Á¦Ç° ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù. ±×µ¿¾È ¾ç»êÀ» ÅëÇØ ÃàÀûÇÑ ³ëÇϿ츦 ¹ÙÅÁÀ¸·Î 8³ª³ë °øÁ¤ ¼öÀ²µµ ¾ÈÁ¤È ½ÃÅ°°Ú´Ù´Â ¹æħÀÌ´Ù.
ÇÑÆí »ï¼ºÀüÀÚ´Â 14³ª³ë¿Í 10³ª³ë °øÁ¤¿¡ À̾î À̹ø¿¡µµ Ä÷ÄÄ°úÀÇ Çù·ÂÀ» À̾°í ÀÖ´Ù. Ä÷ÄÄÀº »ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸® °¡Àå Å« °í°´À¸·Î ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ºÎ ¸ÅÃâÀÇ ¾à 40%°¡·®À» Â÷ÁöÇÏ°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
[À¯ÀºÁÖ ±âÀÚ / ÆÇ´ÜÀÌ ±íÀº ½Å¹® ¨Ï½ºÄ«À̵¥Àϸ®]