´º½º > ½ÃÁ¤·±¸Á¤
±¸¹ÌÇÏÀÌÅ×Å©¹ë¸® ¢ß¿øÀÍÅ¥¿£¾¾ Ä·ÆÛ½º S ÁØ°ø½Ä ¿­·Á
¹ÝµµÃ¼¿ë ÄõÃ÷¿þ¾î »ý»ê¡¦ ¹Ì¼¼°¡°ø‧¿ëÁ¢Á¶¸³‧ÄÚÆñâ¼ú °³¹ß¿¡ ¹ÚÂ÷
°ÇÃà¸éÀû 4¸¸3148§³¡¤1400¾ï ¿ø ÅõÀÚ
ÀÌÂùÈñ ±âÀÚ ±âÀÚÆäÀÌÁö + ÀÔ·Â 2024-03-28 12:17:00
¡ã ±¸¹Ì½ÃÀåÀÌ ¢ß¿øÀÍÅ¥¿£¾¾ Ä·ÆÛ½º S ÁØ°ø½Ä¿¡¼­ Ãà»ç¸¦ ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ±¸¹Ì½Ã
 
°æ»óºÏµµ ±¸¹Ì½ÃÀÇ ÇâÅä±â¾÷ ¢ß¿øÀÍÅ¥¿£¾¾°¡ Ä·ÆÛ½º S ÁØ°ø½ÄÀ» °³ÃÖÇÏ°í ±¸¹Ì½Ã¹ÝµµÃ¼»ê¾÷Ưȭ´ÜÁö Á¶¼ºÀÇ Ãʼ®À» ´ÙÁ³´Ù. 
 
27ÀÏ ±¸¹Ì½Ã¿¡ µû¸£¸é ¢ß¿øÀÍÅ¥¿£¾¾´Â 2021³â 7¿ù ¹ÝµµÃ¼ ¹× µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ¼ÒÀ硤ºÎÇ° Á¦Á¶°øÀå Áõ¼³ÅõÀÚ¾çÇØ°¢¼­¸¦ ü°áÇÏ°í ÇöÀç±îÁö ºÎÁö¸éÀû 8¸¸4215§³(2¸¸5475Æò)¡¤°ÇÃà¸éÀû 4¸¸3148§³(1¸¸3052Æò)¿¡ 1400¾ï ¿øÀ» ÅõÀÚÇß´Ù. 
 
ÇöÀç ÄõÃ÷½ÃÀå¿¡¼­ ±Û·Î¹ú Á¡À¯À² 1À§¸¦ ´Þ¼ºÇÑ ¢ß¿øÀÍÅ¥¿£¾¾´Â ¹ÝµµÃ¼ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿ë ÄõÃ÷ ¹× ¼¼¶ó¹Í Á¦Á¶‧¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ÀåºñºÎÇ° ¼¼Á¤‧µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¹× ÀÇ·á±â±â¿ë ·¥ÇÁ»ç¾÷ µî ÃÑ 4°³ÀÇ »ç¾÷À» °æ¿µÇÏ°í ÀÖ´Ù.
 
¶Ç ±¸¹Ì±¹°¡»ê´Ü ³» 4°³ÀÇ °øÀåÀ» ºñ·ÔÇØ ÇØ¿Ü ÃÑ19°³ °øÀå(±¹³» 5¡¤¹Ì±¹ 4¡¤´ë¸¸ 2¡¤µ¶ÀÏ 2¡¤ÀϺ» 4¡¤Áß±¹ 2)À» º¸À¯ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ÀÓÁ÷¿øÀº ÃÑ 2437¸í(±¹³» 1130¸í)ÀÌ´Ù. 
 
¢ß¿øÀÍÅ¥¿£¾¾°¡ »ý»êÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ ÄõÃ÷¿þ¾î´Â ¼¼°èÀûÀÎ ±â¼ú·Â°ú Á¦Á¶·ÂÀ» º¸À¯ÇÑ »ï¼ºÀüÀÚ¡¤SKÇÏÀ̴нº µî ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷À» ºñ·ÔÇØ TSMC‧Intel‧Micron µî ÁÖ¿ä ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ¾÷ü¿Í LAM¡¡Research‧Tokyo Electron µî ±Û·Î¹ú Àåºñ Á¦Á¶¾÷ü¿¡ °ø±ÞµÇ°í ÀÖ´Ù.
 
ƯÈ÷ µð¹ÙÀ̽º º¯°æ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë ChamberÀÇ Plasma Density‧Etching Gas µîÀÇ È¯°æ º¯È­¿¡ µû¶ó ¹ÝµµÃ¼¿ë ºÎÇ° Particle‧Life time µîÀÇ ¹®Á¦¸¦ ÇØ°áÇϱâ À§ÇØ ÄõÃ÷¿þ¾î ¹Ì¼¼°¡°ø‧¿ëÁ¢Á¶¸³‧¼¼Á¤ ¹× ÄÚÆñâ¼úÀÇ °³¹ß¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇØ ¾î¶»°Ô »ý°¢ÇϽóª¿ä?
ÃßõÇØ¿ä
0
ÁÁ¾Æ¿ä
0
°¨µ¿ÀÌ¿¡¿ä
0
È­³ª¿ä
0
½½ÆÛ¿ä
0
¿À´ÃÀÚ ½ºÄ«À̵¥Àϸ®
ÁÖ¿ä ¼½¼Ç ±â»ç















ÁÖ¼Ò : ¼­¿ïƯº°½Ã Áß±¸ »õ¹®¾È·Î 26 û¾çºôµù 7Ãþ | ÀüÈ­ : 02-522-6595~6 | Æѽº : 02-522-6597
ÀÎÅͳݽŹ® µî·Ï¹øÈ£ : ¼­¿ï½Ã ¾Æ01703, µî·ÏÀÏ : 2011³â 7¿ù 18ÀÏ, ¹ßÇࡤÆíÁýÀÎ: Á¶Á¤Áø, ÆíÁý±¹Àå: °íµ¿¼®
copyright¨Ï2011, All rights reserved. Contact : skyedaily@skyedaily.com | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : ¹Ú¼±¿Á