´º½º > Áõ±Ç
±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç °ü·ÃÁÖ »ó½Â¡¦ÀϺ» ¼öÃâ±ÔÁ¦ ¿µÇâ
ÀϺ» ¹ÝµµÃ¼ Àç·á ¼öÃâ ±ÔÁ¦ ´ëÀÀ¡¤¡¤¡¤±¹»ê ¼ÒÀç »ç¿ë ºñÁß ¡è
ÀÌÀº½Ç ±âÀÚ ±âÀÚÆäÀÌÁö + ÀÔ·Â 2019-07-17 10:45:24
¡ã [»çÁø=°ÔƼÀ̹ÌÁö¹ðÅ©]
 
ÀϺ» ¼ÒÀç ¼öÃâ ±ÔÁ¦ ÀÌÈÄ ¼Öºê·¹ÀÎ, Èļº, ÀÌ¿£¿¡ÇÁÅ×Å©³î·ÎÁö, µ¿Áø½ê¹ÌÄÍ µî ±¹³» ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ¼ÒÀ硤ºÎÇ° °ü·ÃÁÖµéÀÌ »ó½ÂÇß´Ù.
 
ÀϺ» ¼ÒÀç ¼öÃâ ±ÔÁ¦·Î ÀÎÇØ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¾÷°èÀÇ »ý»ê Áß´Ü °¡´É¼ºÀº ±ØÈ÷ ³·°í ¿ÀÈ÷·Á ÀϺ»ÀÌ ±ÔÁ¦ÇÑ Ç°¸ñº¸´Ù ÀϺ» ¾÷ü¿Í °æÀïÇÏ´Â ¼ÒÀç Ç°¸ñ ¼öÇý°¡ ´õ Á÷Á¢ÀûÀÌ°í Å« °ÍÀÌ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ, SKÇÏÀ̴нº µî ÀϺ» ¹ÝµµÃ¼ Àç·á ¼öÃâ ±ÔÁ¦¿¡ ´ëÀÀÇØ ±¹»ê ¼ÒÀç »ç¿ë ºñÁßÀ» ´Ã¸°´Ù´Â º¸µµ¿¡ µû¸¥ ¿µÇâÀ¸·Î ºÐ¼®µÈ´Ù.
 
ÀϺ»Àº Áö³­ 4ÀÏ Çѱ¹ÀÇ ¾Ð¹Ú¼ö´ÜÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ¼öÃâ±ÔÁ¦ Á¶Ä¡¸¦ ´ÜÇàÇß´Ù. ±ÔÁ¦ ´ë»óÀº ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É ¼ÒÀçÀÎ °í¼øµµ ºÒÈ­¼ö¼Ò(HF¡¤¿¡Äª°¡½º), Ç÷ç¿À¸° Æú¸®À̵̹å(FPI), Æ÷Åä ¸®Áö½ºÆ®(PR) µî 3°³ Ç°¸ñÀÌ´Ù. ±× Áß ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀÇ Çٽɿø·áÀÎ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¿Í ºí·©Å© ¸¶½ºÅ©(Blank Mask), ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ Àåºñ µîÀÌ Æ÷ÇԵŠÀÖ´Ù.
 
½Ç¸®ÄÜ¿þÀÌÆÛÀÇ °æ¿ì ÀϺ»»ê ÀÇÁ¸µµ°¡ ´õ Å©´Ù. Çѱ¹¹«¿ªÇùȸ¿¡ µû¸£¸é Áö³­´Þ ¸» ±âÁØ ½Ç¸®ÄÜ¿þÀÌÆÛÀÇ ¼öÀÔ ±Ô¸ð´Â ¾à 4¾ï7000¸¸ ´Þ·¯(¾à 5500¾ï¿ø)·Î ÀϺ»»êÀº Àüü ¼öÀÔÀÇ 39.7%¿¡ À̸¥´Ù.
 
»ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нºÀÇ ÀϺ»»ê ¿þÀÌÆÛ ÀÇÁ¸µµ´Â 50% ÀÌ»óÀÌ´Ù. °ü·Ã ¾÷°è¿¡¼­´Â ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ ÇʼöÀûÀÎ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ°¡ ¼öÃâ Á¦ÇÑ Ç°¸ñ¿¡ Æ÷Ç﵃ °æ¿ì »ï¼ºÀüÀÚ¿Í SKÇÏÀ̴нºÀÇ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ Ÿ°ÝÀ» ÀÔÀ» °ÍÀ̶ó´Â Àü¸ÁÀÌ´Ù.
 
KTBÅõÀÚÁõ±Ç º¸°í¼­¿¡ µû¸£¸é »ï¼ºÀüÀÚÀÇ °æ¿ì Æ÷Åä ¸®Áö½ºÆ®´Â ÀϺ»ÀÇ JSR µ¶Á¡ Ç°¸ñÀ̳ª º§±â¿¡ ¹ýÀÎ(EUV Resist Manufacturing & Qualification Center)¿¡¼­ ¾ç»ê ÁßÀ̸ç À̹ø ÀϺ» ±ÔÁ¦¿¡ µû¸¥ Á÷Á¢ÀûÀÎ ¿µÇâÀº Á¦ÇÑÀûÀÎ °ÍÀ¸·Î ºÐ¼®Çß´Ù. ƯÈ÷ ÃÊ°í¼øµµ ºÒÈ­¼ö¼Òµµ ÀϺΠǰ¸ñÀº ±¹»êÈ­¸¦ ÁøÇà ÁßÀÌ´Ù. ÀϺ» ¾÷üÀÎ ½ºÅÚ¶ó ÄɹÌÆÄ¿Í ¸ð¸®Å¸µµ Áß±¹°ú Çѱ¹ »ý»ê °øÀåÀ» º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ¾î ÁßÀå±â ¼ÒÀç Á¶´Þ¿¡ Â÷Áú °¡´É¼ºÀº ³·Àº °ÍÀ¸·Î ¿¹ÃøÇß´Ù.
 
±è¾çÀç KTBÅõÀÚÁõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº ¡°ÀϺ» Á¤ºÎ°¡ Á÷Á¢ ±ÔÁ¦ÇÑ 3°³ Ç°¸ñ ¿Ü ÁöÁ¤ÇÏÁö ¾ÊÀº Ç°¸ñÀº ÀÌ¹Ì ±¹»êÈ­ µÆ´Ù¡±¸ç ¡°±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¾÷ü´Â ÁöÁ¤ÇÐÀû ¸®½ºÅ© ºÐ»êÀ» À§ÇØ ÀϺ»¿¡¼­ ÀÎÀ§ÀûÀ¸·Î Á¶´ÞÇß´ø Ç°¸ñºÎÅÍ ÀϺ» Á¶´Þ ºñÁßÀ» Ãà¼ÒÇÏ°í Çѱ¹ ºñÁßÀ» ´Ã¸± °ÍÀ¸·Î ¿¹»ó µÈ´Ù¡±°í ÀüÇß´Ù.
 
¶ÇÇÑ ±è ¿¬±¸¿øÀº °ü·Ã ±¹³» Ư¼ö°¡½º(NF3, WF6, C4F6) µî ÄɹÌÄ®, ºÎÇ° ¾÷ü¿¡ ´ëÇÑ ¼öÇý Àü¸Áµµ ³»³ù´Ù. ±¹³» Ư¼ö°¡½º ¾÷ü´Â SK¸ÓƼ¸®¾óÁî(NF3, WF6, C4F6)¿Í Èļº(WF6, C4F6, AHF)ÀÌ ´ëÇ¥ÀûÀÌ¸ç ±¹³» ÄɹÌÄ®(Etchant, Slurry, Precursor) ¾÷ü´Â ¼Öºê·¹Àΰú ÀÌ¿£¿¡ÇÁÅ×Å©, µ¿Áø½ê¹ÌÄÍÀÌ ´ëÇ¥ÀûÀÌ´Ù. ±¹³» ºÎÇ° ¾÷ü¿¡´Â ¿øÀÍQnC, Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁî, SKC¼Ö¹Í½º°¡ ÀÖ´Ù.
 
µµÇö¿ì NHÅõÀÚÁõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº ¡°ÀϺ» ¹ÝµµÃ¼ Àç·á ¼öÃâ ±ÔÁ¦·Î ÀÎÇØ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¾÷ü°¡ ´Ü±âÀûÀ¸·Î ¿ìȸ ·çÆ®¸¦ ÅëÇÑ ¼öÀÔó È®º¸¿¡ ÁÖ·ÂÇÒ °Í¡±ÀÌ¸ç ¡°Àå±âÀûÀ¸·Î´Â ±¹³» ¼ÒÀç ¾÷üÀÇ Ã¼·ÂÀ» Å°¿öÁÙ °øµ¿ R&D¸¦ ´Ã¸± °Í¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
 
NHÅõÀÚÁõ±Ç º¸°í¼­¿¡ µû¸£¸é ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ±¹»êÈ­´Â Àå±â°£ÀÇ ½Ã°£ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ºÒÈ­¼ö¼ÒÀÇ °æ¿ì ¼Öºê·¹ÀÎ µî ±¹³» ¾÷ü°¡ ½Ä°¢ ¾×À» ÁÖ·Î Á¦Á¶Çϴµ¥ ÀϺ»¿¡¼­ ¼öÃâÀ» ±ÔÁ¦ÇÏ´Â Ç°¸ñÀº ½Ä°¢ °¡½º´Ù. µÎ Á¦Ç° °£ Àû¿ëµÇ´Â °øÁ¤ÀÌ »óÀÌÇÏ´Ù. ƯÈ÷ ºü¸£°Ô ³ÐÀº ºÎºÐÀ» ½Ä°¢Çϱâ À§Çؼ­´Â ½À½Ä ½Ä°¢ °øÁ¤À» ÀÌ¿ëÇÏ°í ¼¼¹ÐÇÏ°Ô Á¼Àº ºÎºÐÀ» ½Ä°¢ÇÒ ¶§´Â °Ç½Ä ½Ä°¢ °øÁ¤ÀÌ Àû¿ëµÈ´Ù. ÀϺ» ¾÷üµéÀÌ °Ç½Ä ½Ä°¢ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â °¡½º Á¦Á¶ ±â¼ú·ÂÀÌ ¸Å¿ì ¶Ù¾î³ª´Ù.
 
»ï¼ºÀüÀÚ, SKÇÏÀ̴нº µî ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¾÷üµéÀÌ ±¹»ê ½Ä°¢ °¡½º¸¦ »ç¿ëÇÏ·Á¸é °øÁ¤ º¯°æ°ú Å×½ºÆ®¿¡ ÃÖ¼Ò ¼ö°³¿ù ÀÌ»óÀÇ ½Ã°£ÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. Ãʱ⿡´Â ÀÏÁ¤ ¼öÁØ ÀÌ»óÀÇ ¼öÀ² Ç϶ôµµ ºÒ°¡ÇÇÇϱ⠶§¹®¿¡ ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¾÷ü´Â ¿ì¼±ÀûÀ¸·Î ¿ìȸ ·çÆ®¸¦ ÅëÇØ ÇØ¿ÜÀÇ °í¼øµµ ½Ä°¢ °¡½º ¼öÀÔó¸¦ È®º¸ÇÏ´Â ´Ü±âÀû ¹æÇâÀ¸·Î ´ëÀÀÇÑ´Ù.
 
Àå±âÀûÀ¸·Î´Â ±¹³» ¼ÒÀç ¾÷üµé¿¡°Ô À̹ø ÀϺ» ±ÔÁ¦°¡ ¼öÇý·Î ÀÛ¿ëµÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù. ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¾÷ü°¡ ÀϺ»À» ÀáÀçÀû ¸®½ºÅ©¸¦ º¸À¯ÇÑ ±¹°¡·Î ÀÎÁöÇϱ⠽ÃÀÛÇϸ鼭 ±¹³» ¼ÒÀç ¾÷üµé¿¡°Ô ¸¹Àº ±âȸ¸¦ ÁÙ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
 
µµ ¿¬±¸¿øÀº ¡°ÃßÈÄ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡ »õ·Î¿î Àç·á¸¦ Àû¿ëÇÒ °æ¿ì ¿ì¼±ÀûÀ¸·Î ±¹³» ¾÷ü¿Í °øµ¿ R&D¸¦ ÁøÇàÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù¡±°í ÀüÇß´Ù.
 
[ÀÌÀº½Ç ±âÀÚ / ÇൿÀÌ ºü¸¥ ½Å¹® ¨Ï½ºÄ«À̵¥Àϸ®]
ÀÌ ±â»ç¿¡ ´ëÇØ ¾î¶»°Ô »ý°¢ÇϽóª¿ä?
ÃßõÇØ¿ä
0
ÁÁ¾Æ¿ä
2
°¨µ¿ÀÌ¿¡¿ä
0
È­³ª¿ä
1
½½ÆÛ¿ä
1
¿À´ÃÀÚ ½ºÄ«À̵¥Àϸ®
ÁÖ¿ä ¼½¼Ç ±â»ç















ÁÖ¼Ò : ¼­¿ïƯº°½Ã Áß±¸ »õ¹®¾È·Î 26 û¾çºôµù 7Ãþ | ÀüÈ­ : 02-522-6595~6 | Æѽº : 02-522-6597
ÀÎÅͳݽŹ® µî·Ï¹øÈ£ : ¼­¿ï½Ã ¾Æ01703, µî·ÏÀÏ : 2011³â 7¿ù 18ÀÏ, ¹ßÇࡤÆíÁýÀÎ: Á¶Á¤Áø, ÆíÁý±¹Àå: °íµ¿¼®
copyright¨Ï2011, All rights reserved. Contact : skyedaily@skyedaily.com | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ : ¹Ú¼±¿Á