¹ÚÃá±Ù Àü »ï¾ç¿£¾¾ÄÍ ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â ÀϺ» µµÄì´ë ÈÇÐ ¹Ú»ç Ãâ½ÅÀ¸·Î 1990~1997³â »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ ±Ù¹«ÇÏ¸é¼ Àç·á ±¹»êȸ¦ À̲ø¾ú´Ù. ÀÌÈÄ 1997~2015³â ´Ù¿ìÄɹÌÄ® ÀüÀÚÀç·á»ç¾÷ºÎ¸¦ °ÅÃÄ ¿£¾¾ÄÍ¿¡ ÇÕ·ùÇϱâ Àü±îÁö JSR-EMÄÚ¸®¾Æ¿¡¼ ºÎ»çÀåÀ¸·Î ±Ù¹«Çß´Ù. µ¿Áø½ê¹ÌÄÍ, ±ÝÈ£¼®À¯ÈÇаú ³ë±¤ Àç·á ±¹»êÈ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ÁøÇàÇÑ ±×´Â ¼ÒÀÚ ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î ÄɹÌÄà ÇÊÅ͸¦ µµÀÔ, ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê ¼öÀ² È®º¸¿¡ Å©°Ô ±â¿©Çß´Ù. ´Ù¿ìÄɹÌÄ® ÀüÀÚÀç·á»ç¾÷ºÎ¿¡¼± ±¹³» ¿¬±¸°³¹ß(R&D) ¼¾ÅÍ ¼³¸³À» À̲ø¾ú°í ¹Ú ´ëÇ¥´Â ³ë±¤ Àç·á ¿¬±¸°³¹ß(R&D) ¿ëµµ·Î ArF À̸ÓÀü Àåºñ¸¦ ±¹³» Àç·á ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î µµÀÔÇÑ Àι°·Î ÈÁ¦¸¦ ¸ð¾Ò´Ù.