¼¼°è À¯¼öÀÇ ¹ÝµµÃ¼Àåºñ ¾÷ü ASMLÄÚ¸®¾Æ°¡ °æ±âµµ ȼº½Ã¿¡ Áö¿ª Ä£ÈÈ°µ¿°ú ÇÔ²² ºü¸£°Ô ¾ÈÂøÇØ°¡°í ÀÖ´Ù.
ASMLÄÚ¸®¾Æ´Â 12ÀÏ È¼º½Ã¿¡ °ü³» Àú¼Òµæ Ãë¾à°èÃþÀ» À§ÇÑ ¿Â´©¸®»óÇ°±Ç 1000¸¸ ¿øÀ» ±âŹÇß´Ù°í ȼº½Ã°¡ 15ÀÏ ¹àÇû´Ù.
ASMLÄÚ¸®¾Æ´Â µ¿Åº ¼®¿ìµ¿¿¡ À§Ä¡ÇÑ ±ØÀڿܼ±(EUV)À» ÀÌ¿ëÇØ ½Ç¸®ÄÜ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¹Ì¼¼ÇÑ È¸·Î¸¦ ±×¸®´Â ¼¼°è ÃÖ´ëÀÇ ³ë±¤Àåºñ Á¦Á¶È¸»ç·Î µ¿Åº ¼Ûµ¿¿¡ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ Ŭ·¯½ºÅÍ ¡®´º Ä·ÆÛ½º¡¯¸¦ °Ç¼³ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¾Õ¼ 2022³â¿¡´Â Ãë¾à°èÃþÀ» À§ÇÑ ÈÄ¿ø±Ý 4000¸¸ ¿øÀ» ȼº½Ã¿¡ ±âŹÇß´Ù. ½Ã´Â ±âŹ ¹ÞÀº ¿Â´©¸®»óÇ°±Ç 1000¸¸ ¿øÀ» °ü³» 29°³ À¾¸éµ¿ Àú¼Òµæ Ãë¾à°èÃþ¿¡ Àü´ÞÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
À̳¯ Àü´Þ½Ä¿¡´Â ÀÌ»ó¿ì ASMLÄÚ¸®¾Æ Àü¹«, È«³ë¹Ì ½Ã¹Îº¹Áö±¹Àå µîÀÌ Âü¼®Çß´Ù.
È«³ë¹Ì ȼº½Ã ½Ã¹Îº¹Áö±¹ÀåÀº ¡°µû¶æÇÑ ÈÄ¿øÀ» ÇØÁֽŠASMLÄÚ¸®¾Æ¿¡ ±íÀº °¨»ç¸¦ Ç¥ÇÑ´Ù¡±¸ç ¡°µµ¿òÀÇ ¼Õ±æÀÌ ÇÊ¿äÇÑ °ü³» Àú¼Òµæ Ãë¾à°èÃþ¿¡ Àß Àü´ÞÇÏ°Ú´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù.
ASMLÀº ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼°øÁ¤¿¡ ÇÊ¿äÇÑ ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤Àåºñ ½ÃÀå ºÎµ¿ÀÇ ±Û·Î¹ú 1À§ ±â¾÷À¸·Î ³ë±¤ºÐ¾ß´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶±â¼ú Áß °¡Àå Áß¿äÇÑ ±â¼ú·Î ¾Ë·ÁÁ® ÀÖ´Ù.