
°æ»óºÏµµ´Â 8ÀÏ Æ÷Ç×°¡¼Ó±â¿¬±¸¼Ò °úÇаü¿¡¼ Æ÷Ç×½Ã, Æ÷Ç×°¡¼Ó±â¿¬±¸¼Ò(PAL)¿Í °øµ¿À¸·Î ¡®2022 °¡¼Ó±â ±â¹Ý ±×¸°½Å¼ÒÀç»ê¾÷ ±¹Á¦½ÉÆ÷Áö¾ö¡¯À» °³ÃÖÇß´Ù.
À̹ø ½ÉÆ÷Áö¾öÀº 9ÀϱîÁö ÀÌÆ²°£ ¹Ì±¹‧´ë¸¸‧ÇÁ¶û½º µî ±¹³»¿Ü Àü¹®°¡ ¹× »ê¾÷ü °ü°èÀÚ 100¿©¸íÀÌ Âü¼®ÇÑ °¡¿îµ¥ ÁøÇàÇÑ´Ù.
À̹ø ½ÉÆ÷Áö¾öÀº Áö¿ªÀÇ ¹Ì·¡ ½Å¼ºÀå»ê¾÷ Çٽɵ¿·ÂÀ¸·Î ºÎ»óÇÏ´Â ÀÌÂ÷ÀüÁö »ê¾÷¿¡ ´ëÇÑ ¹ßÀü°ú À°¼º¹æ¾ÈÀ» ¸ð»öÇϱâ À§ÇØ ¡®Â÷¼¼´ë ÀÌÂ÷ÀüÁö¡¯¸¦ ÁÖÁ¦·Î ±¹³»¿Ü Àü¹®°¡¸¦ ÃÊÃ»ÇØ ¿¬±¸°á°ú ¹ßÇ¥¿Í °¿¬À» Áß½ÉÀ¸·Î ¿¸°´Ù.
ù³¯ÀÎ 8ÀÏ ¿ÀÀü À¯·´ ½ÌÅ©·ÎÆ®·Ð ¹æ»ç¼±¿¬±¸¼ÒÀÇ ÀÚÄò µå¸£³Ø(Jakub Drnec) ¹Ú»çÀÇ ESRF(The European Synchrotron Radiation Facility, À¯·´ ½ÌÅ©·ÎÆ®·Ð¹æ»ç¼±¿¬±¸¼Ò)ÀÇ ±¤¿øÀ» ÀÌ¿ëÇÑ Àü±âÈÇÐÀû ¿¡³ÊÁö º¯È¯ ¹× ÀúÀå ½Ã½ºÅÛÀÇ ½Ç¿ëÀû ÀÌÇØ¿Í ¹Ì±¹ ½ºÅÄÆÛµå ¼±Çü°¡¼Ó±â¼¾ÅÍ ÀÌÁØ½Ä ¹Ú»çÀÇ ¾çÀÚ ¼ÒÀ縦 ÅëÇÑ ¹Ì·¡ ¿¡³ÊÁö¶ó´Â ÁÖÁ¦ °¿¬ÀÌ ÆîÃÄÁ³´Ù.
À̳¯ ¿ÀÈÄ¿¡´Â Çѱ¹°úÇбâ¼ú¿¬±¸¿ø È«ÁöÇö ¹Ú»ç(¹æ»ç±¤ ±â¹Ý±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ¸®Æ¬ÀÌ¿ÂÀüÁö ¾ç±Ø¿¡¼ÀÇ ºñÆòÇü ¸®Æ¬ »ðÀÔ ¹× ÃßÃâÆ÷Âø)¿Í Ä«À̽ºÆ® ÀÌÇöÁÖ ±³¼ö(´ÜÀÏ ¿øÀÚ Ã˸ſ¡ ´ëÇÑ X¼± Èí¼ö ±â¼úÀÇ ÇÙ½É ¿ªÇÒ) Æ÷½ºÅØ ¹Ú¼öÁø ±³¼ö(ÃæÀü½Ä Â÷¼¼´ë ¹èÅ͸®) µîÀÌ °¡¼Ó±â¸¦ Ȱ¿ëÇÑ ÀÌÂ÷ÀüÁö ¼º´É°ú ¾ÈÀü¼ºÀ» Çâ»ó ½Ãų ¼ö ÀÖ´Â ¿¬±¸°á°ú¸¦ ¹ßÇ¥ÇÏ°í °¿¬Çß´Ù.
¶Ç Æ÷Ç×°¡¼Ó±â¿¬±¸¼ÒÀÇ 3¡¤4¼¼´ë ¹æ»ç±¤°¡¼Ó±â, EUV °¡¼Ó±â µî ¼öÇà ÁßÀÎ ÁÖ¿ä»ç¾÷À» ¼³¸íÇÏ´Â PAL »ç¾÷¼³¸íȸ¿Í ÈÇÐ, Àü±â¡¤ÀüÀÚ µî ¿¬±¸Áö¿ø¿¡ Ȱ¿ëÇÒ ½ÃºÐÇØ X-¼± ºö¶óÀÎ Áذø½Äµµ °³ÃÖÇß´Ù.
°æºÏµµ´Â ±×°£ °¡¼Ó±â¸¦ Ȱ¿ëÇÑ ±×¸°½Å¼ÒÀç»ê¾÷ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ±âȹÇϰí À̸¦ ¹ÙÅÁÀ¸·Î ÀÌÂ÷ÀüÁö »ê¾÷ À°¼ºÀ» À§ÇÑ ´Ù¾çÇÑ ³íÀÇÀÇ ÀåÀ» ¸¶·ÃÇØ¿Ô´Ù.
À̸¦ ÅëÇØ ¹èÅ͸®±ÔÁ¦ÀÚÀ¯±¸¿ª ÁöÁ¤°ú Æ÷½ºÄÚÄɹÌÄ®, ¿¡ÄÚÇÁ·Î±×·ì, GS°Ç¼³ µîÀ» Áß½ÉÀ¸·Î ÀÌÂ÷ÀüÁö¿Í °ü·ÃÇÑ ´ë±Ô¸ð ÅõÀÚÀ¯Ä¡ ÇÁ·ÎÁ§Æ®¸¦ ÃßÁøÇÏ´Â µî Æ÷Ç×À» ÀÌÂ÷ÀüÁö ¼±µµµµ½Ã·Î µµ¾à½Ã۱â À§ÇØ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡Çϰí ÀÖ´Ù.
ÀÌ´ÞÈñ °æºÏµµ °æÁ¦ºÎÁö»ç´Â ¡°ÀÌÂ÷ÀüÁöÀÇ ¹®Á¦Á¡°ú ¸ÞÄ¿´ÏÁò ±Ô¸íÀ» À§Çؼ´Â ÃÖ÷´Ü ºÐ¼® ÀåºñÀÎ °¡¼Ó±â Ȱ¿ëÀÌ ÇʼöÀûÀÌ´Ù¡±¸ç ¡°À̹ø ½ÉÆ÷Áö¾ö¿¡¼ ³ª¿Â ´Ù¾çÇÑ ÀǰßÀ» Á¤Ã¥¿¡ ¹Ý¿µÇÒ ¹æ¾ÈÀ» °í¹ÎÇÏ°í ¼ÒÀçºÎǰ »ê¾÷ÀÇ ½Å¼ºÀ嵿·ÂÀ» âÃâÇÏ´Â µ¥ ÃÖ¼±À» ´ÙÇϰڴ١±°í ¸»Çß´Ù.
ÈÄ¿øÇϱâ